第一站，我們來到“真空世界"！在這里，CDG系列陶瓷電容式真空計是絕對的明星。它們就像一位位“真空守護(hù)者"，以極耐腐蝕的超純陶瓷材料傳感器，超高精度和穩(wěn)定性，以及優(yōu)異的使用壽命，確保半導(dǎo)體制造環(huán)境的潔凈無瑕與長久可靠。

接下來，官微君將帶您來到“泄漏zhentan站"！專為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā)的UL3000 Fab 可移動式氦氣檢漏儀，擁有“纖細(xì)身材"和“chaoqiang大腦"，能夠靈活穿梭于生產(chǎn)現(xiàn)場，快速定位泄漏點。無論是微小漏洞還是隱蔽問題，都逃不過它的“火眼金睛"！

第三站，我們來到“氣體實驗室"！Transpector CPX 殘余氣體分析儀（RGA）是這里的主角，這位“數(shù)據(jù)分析師"，有著極快的測量速度和高探測靈敏度，能滿足如ALD、CVD、PVD等半導(dǎo)體工藝的嚴(yán)苛要求，實時監(jiān)測工藝氣體成分，確保生產(chǎn)過程的每一步都精準(zhǔn)無誤。此外，相較上一代產(chǎn)品，其不僅系統(tǒng)體積減小了30%，能夠更輕松地集成在產(chǎn)線內(nèi)，還通過行業(yè)的抽氣系統(tǒng)和溫控加熱組件簡化了系統(tǒng)復(fù)雜度，讓操作更加簡便。

最后一站，我們來到“智慧中樞"！fabguard 智能過程監(jiān)控軟件，是英福康面向半導(dǎo)體未來工廠智能化、數(shù)字化需求的一個chaoqiang數(shù)據(jù)工具包。

在它的助力下，工廠內(nèi)所有的流程設(shè)備、傳感器與檢測設(shè)施的各類數(shù)據(jù)都可被實時記錄、傳輸、監(jiān)測，并進(jìn)行自動分析，不僅能為工廠建立起一個全面的故障檢測機(jī)制，確保流程精準(zhǔn)可靠，還能連通其他數(shù)據(jù)平臺為半導(dǎo)體生產(chǎn)流程優(yōu)化、工藝升級等提供科學(xué)的數(shù)據(jù)支持。想知道它是如何讓工廠變得更聰明嗎？快來一探究竟！